DWL 2000 GS / DWL 4000 GS Laser Lithography
La herramienta de litografía en escala de grises a nivel industrial
Alta resolución, rapidez y flexibilidad en la creación de patrones
Los sistemas de litografía láser DWL 2000 GS / DWL 4000 GS son generadores de patrones rápidos, flexibles y de alta resolución. Están diseñados para litografía en escala de grises a nivel industrial, optimizados para el patronaje de máscaras y obleas en aplicaciones de gran exigencia.
Entre sus campos de aplicación se incluyen: circuitos integrados, MEMS, microóptica, microfluídica, sensores, hologramas y elementos de seguridad en billetes y tarjetas de identificación.
Litografía en escala de grises
El modo de litografía profesional en escala de grises permite crear estructuras 2,5D complejas en fotorresistentes gruesos sobre superficies de gran tamaño.
Tamaño mínimo de rasgo: 500 nm
Área de escritura de hasta 400 × 400 mm²
Sistema de carga automática (opcional)
Aplicaciones principales
Litografía avanzada para múltiples industrias
- Circuitos integrados y MEMS
- Microfluidos y sensores
- Microóptica para telecomunicaciones y pantallas
- Elementos de seguridad en billetes y tarjetas
- Hologramas y óptica avanzada
Ventajas competitivas
Ideal para producción a nivel industrial
Estos sistemas destacan por su idoneidad en la fabricación de microóptica a nivel de oblea, utilizada en sectores como:
- Telecomunicaciones
- Iluminación avanzada
- Fabricación de pantallas industriales
- Dispositivos para ciencias de la vida
