El NLD-4000 es un sistema ALD autónomo controlado por PC, totalmente automatizado y con enclavamiento de seguridad, capaz de depositar óxidos y nitruros (por ejemplo, AlN, GaN, TaN, TiN, Al2O3, ZrO2, LaO2, HfO2) para aplicaciones de semiconductores, fotovoltaicas y MEMS. Dispone de una cámara de reacción de aluminio de 13″ con paredes calefactadas y una
Sistemas de producción de manuales a automáticos DEFIXX-SERIES Tamaños de oblea desde piezas hasta Ø300 mm (Ø12 pulgadas) Calentadores incrustados en las obleas y placas de soporte Compatible con materiales de silicio, compuestos y vidrio Utilizable con una amplia gama de materiales de despegado Es una herramienta versátil que resulta ideal para muchas aplicaciones
Sistemas de producción de manuales a automáticos SERIE AFIXX Tamaños de oblea desde piezas hasta Ø200 mm (Ø8 pulgadas) Adecuada para obleas frágiles muy finas (< 40 μm) y materiales plásticos flexibles. Compatible con materiales de silicio, compuestos y vidrio El proceso de montaje uniforme y repetible es ideal para CMP, esmerilado, pulido y grabado.
Sistemas de centrifugado de laboratorio – Laboratory spinner systems BASIXX-SERIES Control por software con función de gestión de recetas Cubierta transparente con sensor de interrupción de seguridad Inyección de disolvente sobre la boquilla de charco Cubeta de proceso y anillo de salpicadura extraíbles para su limpieza Oblea redonda de hasta Ø200mm (Ø8 pulgadas) Sustratos
SERIE VARIXX Configuración flexible de los módulos de procesamiento Módulos disponibles: barnizadora, revelador, temperatura y smart-EBR Manipulación de obleas finas, estándar o adheridas (Si, vidrio y otros) Oblea redonda de hasta Ø300 mm (Ø12 pulgadas) Sustratos cuadrados de hasta 230 x 230 mm (9 x 9 pulgadas) Subsistemas opcionales; volteador de obleas, sistema de dispensación
Ofrecemos spin coaters y procesadores de disolventes fabricados exclusivamente en los Estados Unidos de América. La mayoría de los modelos están en stock y listos para su entrega en unos días. Nuestros productos están diseñados para facilitar el desarrollo de procesos. Nuestro enfoque específico de la aplicación nos permite ofrecer una mayor funcionalidad en menos
APD1 Sierra anular y periférica de precisiónLa sierra de precisión APD1 de Logitech es una sierra combinada de corte anular y periférico, ideal para rebanar muestras como obleas, cristales o componentes semiconductores de hasta 55 mm de diámetro con una pérdida de corte mínima o para el corte de precisión de obleas de hasta 100
Logitech dispone de diferentes equipos para llevar a cabo pruebas y medidas CG10 Medidor de contactosEl nuevo y mejorado medidor de contacto de Logitech (CG10) es un instrumento de medición compacto, habilitado para bluetooth, para aplicaciones de medición dimensional lineal. Ofrece un alto grado de precisión en un amplio rango de medición con bajas fuerzas
Fijador modular de sustratos para obleasLa incorporación más reciente a nuestra gama de pegadoras de obleas de primera calidad, el sistema modular de pegado de obleas (MWBS). El MWBS ofrece una capacidad de unión ,de pequeñas piezas de obleas y tamaños de obleas, desde 2″ hasta 8″. El diseño modular permite utilizar hasta 12 cabezales
Sistemas de lapeado de precisión DL Los sistemas de lapeado de alta velocidad DL de Logitech procesan materiales con gran precisión geométrica. La gama de capacidades de los sistemas DL los hace ideales para pequeños laboratorios de investigación hasta entornos de producción. El DL también tiene la capacidad de procesar múltiples muestras pequeñas con el