RIE – Reactive Ion Etching
El NRE-4000 es un sistema autónomo de grabado iónico reactivo (RIE) con distribución de gas por ducha y platina RF refrigerada por agua. Tiene un armario de acero inoxidable y una cámara cilíndrica de aluminio de 13″ que se abre desde arriba para cargar las obleas. La cámara tiene dos puertos, uno con una ventana
