X Tool

PHI X-toolAutomated XPS Microprobe

La herramienta X de PHI es el miembro más reciente del conjunto de instrumentos XPS de PHI que también incluye PHI Quantera II y PHI VersaProbe III. La herramienta X está diseñada para hacer que la instrumentación XPS sea accesible para un público más amplio. Una interfaz de usuario intuitiva con pantalla táctil, carga automática de muestras, análisis automático y generación automática de informes elimina la necesidad de ser un experto en análisis de superficie para realizar mediciones XPS.

Basado en la tecnología de microprobetas XPS de escaneo patentada de PHI, la herramienta X hace posible que sus usuarios realicen mediciones XPS rutinarias de área grande y pequeña en tres sencillos pasos.

PHI’s Scanning XPS Microprobe Technology

The electron gun projects a focused raster scanned electron beam onto the aluminum (Al) anode generating a point source of Al x-rays. The ellipsoidal shaped quartz crystal monochromator refocuses the x-ray beam onto the sample. This unique x-ray source provides a micro-focused, raster scanned x-ray beam that enables x-ray induced secondary electron imaging, XPS analysis, and XPS imaging.

  • US Patent 5,315,113
  • US Patent 5,444,242
  • JP Patent 3752252B2
  • JP Patent 3754696B2
  • EP Patent 0590308B1
  • EP Patent 0669635B1
  • EP Patent 1220280B1
Diagram of PHI's X Tools
 

Revolutionary Ease-of-Use

In the automatic mode of operation a turnkey recipe driven analysis capability for repetitive analysis tasks or product monitoring is provided.

In the interactive mode of operation the user can define analysis conditions and guide an interactive research or failure analysis oriented analysis session. Analysis capabilities include: small and large area spectroscopy, XPS mapping, and sputter depth profiling. An internal optical microscope and x-ray beam induced secondary electron imaging are available to guide the selection of areas for analysis.

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