PHI VersaProbe IIIScanning XPS Microprobe

  • Anunciamos lo último en la línea de instrumentos de microprobetas XPS de escaneo de PHI: VersaProbe III Este instrumento de múltiples técnicas se basa en nuestra tecnología de microprobetas de escaneo patentada líder en la industria y en la neutralización de carga de doble haz y lo lleva a un nivel superior.

    Características de la VersaProbe III:
    – Nueva espectroscopía de fotoemisión inversa de baja energía (LEIPS)
    – Nuevos carretes (espectroscopía de pérdida de energía de electrones de reflexión)
    – Nueva lente de entrada del analizador con una sensibilidad 2-3 veces mayor para todas las condiciones de análisis
    – Nuevo detector multicanal para imágenes elementales y químicas más rápidas
    – Nueva tecnología dependiente del ángulo para la recolección de ángulo sólido de +/- 5 grados para mediciones ADXPS
    – Etapa caliente / fría mejorada que proporciona temperaturas de -140 ° C a + 600 ° C
    – Nuevo plato de muestra caliente dedicado que funciona hasta 800 ° C
    – Nuevo montaje de muestra transferible de 4 contactos para experimentos potenciales controlados in situ
    – Nuevo diseño de UPS para mayor sensibilidad y mejor resolución de energía
    – Rendimiento mejorado de la barrena que proporciona una mayor resolución energética y una mejor señal al ruido
    – Fuente de rayos X para escaneo microenfocado
    – Espectroscopía de área grande
    – Espectroscopía de micro área
    – Perfil de profundidad de Sputter
    – Cámara de prueba de múltiples técnicas
    – SmartSoft-VersaProbe
    – Software de reducción de datos MultiPak
    – Video de demostración de SXI
    – LEIPS (espectroscopía de fotoemisión inversa de baja energía)
    – CARRETES (espectroscopía de pérdida de energía de electrones de reflexión)
    – Características y accesorios

Micro-Focused Scanning X-ray Source

Micro-Focused Scanning X-Ray Source

La tecnología central del VersaProbe III es la fuente de rayos X de escaneo monocromática, microenfocada y microenfocada, patentada por PHI, que proporciona un excelente rendimiento de espectroscopía de microárea de área grande y excelente. La espectroscopía, el perfil de profundidad y las imágenes se pueden realizar en todo el rango de tamaños de haz de rayos X, incluido el tamaño mínimo de haz de rayos X de menos de 10 µm. Las características únicas que ofrece esta tecnología incluyen:

  • Rayo de rayos X escaneado en microespacio
  • Rayos X inducidos por imágenes secundarias de electrones
  • Imágenes XPS con espectros en cada píxel para análisis químico retrospectivo
  • Espectroscopía puntual o multipunto
  • Análisis de película delgada de punto o multipunto

Multi-Technique Test Chamber

Integrated Optional Accessories

The VersaProbe III test chamber is designed to accept multiple photon and ion sources that are focused at a common point on the sample and controlled from the SmartSoft-VersaProbe user interface.

  1. Scanning x-ray source
  2. Sample introduction chamber
    Optional intro/prep chamber
  3. Argon sputter ion gun
  4. Electron energy analyzer
  5. Optical Microscope
  6. Five axis automated sample manipulator
    Optional hot / cold version shown
  7. LN2 dewar for sample cooling
  8. Optional sample preparation chambers
  9. Optional C60 sputter ion gun
  10. Optional UV light source for UPS
  11. Optional dual anode x-ray source
  12. Optional electron gun for SAM
  13. Optional 20 kV Ar2500+ gas cluster ion gun
VersaProbe III Test Chamber
 

SmartSoft-VersaProbe

SmartSoft

Whether you are a casual user or an expert, the work flow driven UI and enhanced feature set will increase your productivity.

  • Intuitive single window user interface
  • Session tabs guide you through the analysis process
  • Integrated sample platen management
  • Point and click analysis area definition on saved images
  • User friendly queuing of multiple analysis tasks
  • Multi-point analysis and sputter depth profiling within an imaged area
  • Fully integrated control of optional accessories
SmartSoft-VersaProbe Intuitive Single Window User Interface
 

MultiPak Data Reduction Software

Data Reduction for XPS and AES

PHI MultiPak is the most comprehensive data reduction and interpretation software package available for electron spectroscopy. The tasks of spectral peak identification, extracting chemical state information, quantification, and detection limit enhancement are addressed with an array of powerful and easy-to-use software tools for spectra, line scans, images and sputter depth profiles. MultiPak can be used on the instrument PC to process data in real time or on an off line PC for report generation.

Advanced Data Reduction Tools

  • Auto peak identification
  • XPS chemical state database
  • XPS spectral deconvolution
  • Quantitative analysis
  • Non-linear least squares fitting
  • Linear least squares fitting
  • Target factor analysis
  • Retrospective chemical imaging
  • Batch mode data processing
Multipak Data Reduction Software
Chemical depth profile of a multi-layer Ni-Cr thin film structure showing the presence of Cr metal and Cr oxide layers.