Espectroscopia Auger
Espectroscopía AES de alta resolución
Análisis ultra superficial con resolución nanométrica
La espectroscopía de electrones Auger (AES) permite caracterizar de forma cuantitativa y espacialmente resuelta la composición química de superficies sólidas, con una profundidad analítica promedio de 5 nm. El sistema PHI 710 ofrece una de las mayores resoluciones laterales del mercado (hasta 8 nm), combinando imágenes de alta definición, análisis químico y perfilado de profundidad en un solo equipo.
Modelos disponibles
Ideal para muestras pequeñas en laboratorios de investigación.
¿Cómo funciona la espectroscopía Auger?
Análisis químico mediante emisión electrónica superficial
La AES se basa en estimular la superficie de una muestra con un haz de electrones microenfocado, lo que provoca la emisión de electrones Auger. Estos son medidos con un analizador de energía para determinar:
- Identidad elemental
- Estado químico (en algunos casos)
- Cantidad relativa de cada elemento
La interpretación de forma y posición del pico Auger permite extraer datos de composición y enlaces químicos superficiales.
Resolución lateral y profundidad sin precedentes
Resolución lateral de hasta 8 nm
El haz de electrones finamente enfocado permite observar detalles a escala nanométrica.
Perfilado de profundidad con sputtering iónico
Combinando la medición AES con molienda por iones, se puede obtener un perfil químico de capas finas.
Escaneo puntual y mapas químicos por rasterización
El barrido preciso del haz permite crear mapas de composición a escala submicrométrica.
Aplicaciones críticas para la industria y la investigación
Desde semiconductores hasta nanotecnología
Nanomateriales y microestructuras
Análisis de defectos, impurezas o segregaciones químicas.
Fotovoltaica, electrónica y semiconductores
Detección de contaminación superficial y caracterización de contactos eléctricos.
Catálisis y corrosión
Identificación de especies químicas activas o responsables del fallo del material.
Medios magnéticos y tecnología de visualización
Control de calidad en recubrimientos funcionales y estructuras multicapa.
