AFM Park NX20 300mm
La principal herramienta de nanometrología automatizada
Medición y análisis de obleas de 300 mm con precisión extrema
El Park NX20 300 mm es el primer AFM de muestras grandes del sector que admite un rango de desplazamiento motorizado completo de 300 mm × 300 mm. Diseñado para análisis de fallos (FA) y laboratorios de control de calidad (QA/QC), permite inspeccionar una oblea completa de 300 mm de forma eficiente, sin necesidad de reposicionar la muestra. A pesar de su plataforma ampliada para la etapa XY motorizada de 300 mm, la tecnología de aislamiento de vibraciones mantiene el nivel de ruido por debajo de 0,5 Å RMS (típicamente 0,3 Å RMS en campo). Su rendimiento probado y la automatización SingleClick‑AFM permiten un proceso de escaneo fácil, rápido y repetible.
Diseñado para inspección de obleas de gran tamaño
- Análisis de obleas completas de 300 mm con mediciones AFM de bajo ruido.
- Automatización total para mayor rapidez, facilidad y precisión.
Mandril flexible para muestras de 300 mm:
El mandril de vacío admite una amplia gama de tamaños, formas y tipos de obleas, permitiendo escanear con precisión prácticamente cualquier muestra.
Etapa XY motorizada de 300 mm:
Permite mover la posición de medición del AFM en toda el área de 300 mm sin reposicionar la muestra.
Park SmartScan™: mediciones precisas de forma sencilla
- Interfaz intuitiva y potente: incluso usuarios sin formación pueden escanear una muestra grande sin supervisión.
- Permite a los ingenieros senior centrarse en resolver problemas mayores y desarrollar soluciones avanzadas.
Escaneo automatizado de múltiples sitios:
Mide y compara morfologías, altura y rugosidad entre diferentes ubicaciones y muestras usando modos de rejilla y oblea.
Creación de recetas personalizada:
Permite establecer preajustes definidos por ubicación, nombre, número y tipo en cada lote.
Rendimiento probado con plataforma ampliada
El NX20 ya es reconocido por su facilidad de uso y automatización sin comprometer precisión. Con la platina XY motorizada de 300 mm:
- Permite inspeccionar muestras más grandes.
- Mantiene una precisión extrema para ingenieros de FA, QA y QC.
Optimizado para una amplia gama de aplicaciones
El NX20 300 mm ofrece mediciones AFM automatizadas por receta para tareas avanzadas a nanoescala:
- Medición de rugosidad, altura y profundidad.
- Revisión de defectos y análisis de fallos eléctricos y magnéticos.
- Caracterización de propiedades térmicas.
- Imágenes de propiedades nanomecánicas.
