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Litografía por electrones
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Vistec SB254
Litografía por haz de electrones de alta precisión
Versatilidad, rendimiento y escalabilidad para la investigación y la industria.
La Vistec SB254 es una herramienta avanzada de litografía por haz de electrones diseñada para ofrecer precisión y eficiencia en aplicaciones tanto de escritura directa como de fabricación de máscaras. Basada en tecnología VSB (Variable Shaped Beam), permite una gran flexibilidad para procesos complejos en el sector de semiconductores, óptica integrada y fotónica.
Aplicaciones clave
Ideal para clientes que requieren rendimiento, fiabilidad y adaptabilidad para una amplia variedad de sectores:
- Escritura directa sobre silicio y semiconductores compuestos
- Fabricación de máscaras fotónicas y plantillas
- Desarrollo de tecnologías ópticas integradas
Tecnología innovadora y modular
La Vistec SB254 ofrece una arquitectura modular que permite evolucionar el sistema conforme a las necesidades del cliente. Destaca por su compatibilidad con materiales transparentes y no transparentes, así como por su diseño compacto y su automatización completa para la manipulación de sustratos.
Ventajas clave:
- Columna de haz conformado de 50 keV con alta resolución
- Modos de escritura avanzados: Write-on-the-fly y Vector Scan
- Exposición de obleas hasta 200 mm y máscaras de hasta 7"
Características principales del Vistec SB254
Este sistema ha sido desarrollado como una evolución de la serie SB250, incorporando funciones avanzadas que garantizan alto rendimiento, precisión y facilidad de operación.
Opciones disponibles
Manipulación totalmente automatizada de diversos tamaños de sustrato, con prealineación
Escritura multipase para mayor fidelidad en patrones complejos
Software MDSP para detección de marcas y medición de campo
Estación de preparación de datos con hasta 256 núcleos de CPU
Correcciones avanzadas: PROXECCO (efecto de proximidad) y corrección de niebla
Interfaz y facilidad de uso
El sistema incluye una GUI moderna y eficiente conforme al estándar SEMI E95, optimizada para su integración en entornos de producción. La preparación de datos y visualización está diseñada para agilizar la operativa diaria.
Especificaciones técnicas destacadas
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