Litografía por Haz de Láser

µPG SeriesSerie µPG

Los sistemas de la serie µPG son unos generadores de patrones a escala micro, de coste económico y sencillo manejo para aplicaciones de escritura directa y máscaras de bajo volumen. Debido a su diseño compacto estos sistemas pueden instalarse en un pequeño espacio sin perder las prestaciones que proporcionan una máxima flexibilidad.

µPG 101 – Micro Generador de Patrones Sobremesa. Es un sistema flexible e intuitivo para su uso como herramienta litográfica que permite acelerar la investigación y brinda un sencillo primer contacto con la litografía directa.

µPG 501 – Sistema Alineamiento Directo Sobremesa. El alto rendimiento y las excelentes prestaciones de esta herramienta eliminan la necesidad de utilizar sistemas convencionales en muchas apliaciones R&D.

DWL SeriesSerie DWL

Las capacidades y flexibilidad de estos sistemas, convierten a estos sistemas en las herramientas de litografía para investigación más modernas en MEMs, BioMEMs, micro-óptica, sistemas microfluídicos, sensores y cualquier otro aplicación que requiera microestructuras.

DWL 66+ – Litografía Láser R&D. El nuevo sistema de litografía láser DWL 66+ es un generador de patrones de alta resolución para máscaras de pequeño volumen a través de escritura directa.

DWL 2000/ DWL 4000 – Sistemas Litografía Escritura Directa. Los sistemas DWL 2000 son rápidos y flexibles y permiten una escritura directa en máscaras en alta resolución. Además de patrones 2D, su tecnología puede crear estructuras complejas 3D en fotoresistencias en un solo paso.

VPG SeriesSerie VPG

La nueva línea VPG (Generador de Patrones en Volumen) permite litografía de grandes áreas con la más alta tecnología y desarrollos innovadores por parte de Heidelberg Instruments, basándose en su proceso de paralelización ultra-rapido patentado.

VPG 200/VPG 400 – Sistema de Alineamiento Directo. Los sistemas de litografía por laser VPG200 y VPG400 son sistemas económicos, con capacidad de generar patrones de alta resolución en máscaras de pequeño volumen y como escritura directa.

VPG 800/VPG 1100/VPG 1400 – Producción Litográfica Última Generación. Los sistemas VPG 800/1100/1400 ofrecen una solución económica y efectiva para la fabricación de fotomáscaras de alta resolución de hasta 1400 mm x 1400 mm.

Special SystemsSistemas Especiales

Somos expertos en el desarrollo de sistemas de litografía directa para aplicaciones específicas:

Sistemas de libre forma

Litografía DUV

Litografía para Sustratos Especiales