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La nueva generación de una herramienta de microscopia para capas finas y metrología de superficies y materiales, utiliza la combinación de la elipsometría con auto-null y la microscopia de imagen para proporcionar caracterización de superficie con resolución lateral de hasta 1 micrómetro. Esto permite la medición de áreas hasta 1000 veces más pequeñas que la mayoría de los elipsómetros convencionales (no de imagen), incluso si utilizan la opción de espectroscopia con micro-spot.
El nanofilm_ep4 utiliza una variedad de características únicas que permiten la visualización de la superficie en tiempo real. Se puede ver la estructura de la muestra en escala microscópica y medir parámetros como el grosor, el indice de difracción y la absorbancia. Además se pueden crear mapas de los áreas de interés. Es posible la combinación con otras técnicas instrumentales como AFM, QCM-D, reflectrometria, espectroscopia Raman, etc. para poder recoger más información todavía de su muestra.